1）所需設(shè)備：CCZK-900ION-T系列多弧離子工具鍍膜機(jī)
2）獲得膜層：TiN（氮化鈦），AlN（氮化鋁），CrN（氮化鉻），TiC（碳化鈦），TiAlN（氮化鋁鈦）等
3）涂裝流程：工具產(chǎn)品的前處理（超聲波清洗或表面一定程度的拋光）----烘箱烘干----真空離子鍍膜（2H-12H）---- 冷卻---出爐---成品包裝
4)基本配置：
腔體結(jié)構(gòu)：D900mm*H1100mm，立式前開門
腔體材質(zhì)：304不銹鋼材質(zhì)
烘烤系統(tǒng)：鎧裝加熱550℃ PID溫控
冷卻系統(tǒng)：不銹鋼水冷套裝
多弧電源：200A 10套
多弧靶材：鈦靶或不銹鋼靶 10套
偏壓電源：20KW 1套
Bias power:20kw 1set
氣體控制：4路氣體流量控制系統(tǒng)
泵抽系統(tǒng)：1臺分子泵+1臺羅茨泵+1臺直聯(lián)泵（德國萊寶）
智能控制：PLC+臺灣研華工業(yè)計(jì)算機(jī)+HMI智能人機(jī)界面控制+報(bào)警系統(tǒng)
安裝服務(wù)：免費(fèi)提供客戶現(xiàn)場的安裝調(diào)試服務(wù)
保修服務(wù)：免費(fèi)提供12個(gè)月的保修服務(wù)
培訓(xùn)服務(wù)：免費(fèi)提供客戶操作人員的基本培訓(xùn)服務(wù)
5）需求配套設(shè)施：
空壓機(jī)+儲(chǔ)氣罐+水泵+水冷設(shè)備+超聲波清洗機(jī)
水壓流速：0.2Mpa 3m3/h
氣 壓：0.4-0.8mpa
水 溫：小于25℃
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