CCZK-SF磁控濺射鍍膜設(shè)備

腔體結(jié)構(gòu)：立式前開門，臥式前開門。

材質(zhì)用料：腔體材質(zhì)為SUS304不銹鋼或碳鋼

真空系統(tǒng)：擴散泵（可選分子泵）+羅茨泵+機械泵+維持泵（另有深冷泵系統(tǒng)可供選擇）

濺射靶材：中心圓柱靶，平面靶，孿生靶等

磁控電源：可配備直流或中頻磁控濺射電源

轉(zhuǎn)動系統(tǒng)：變頻調(diào)速，公自轉(zhuǎn)結(jié)合，可根據(jù)客戶產(chǎn)品和要求設(shè)計

膜層結(jié)構(gòu)：單層膜、多層膜

氣體控制：氣體流量控制儀集成觸控操作控制

人機界面：PLC智能控制+全彩HMI觸摸屏

操作方式：邏輯全自動方式、半自動方式、手動方式

智能控制：PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面，實現(xiàn)全自動控制

報警及保護：異常情況進行報警，并執(zhí)行相應(yīng)保護措施。

其他技術(shù)參數(shù)：

極限真空：5.0×10-4Pa

抽氣速率：5.0*10-2≤5min

水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa；

備注：

一般規(guī)格：

Φ1000mm*H1200mm，Φ1400mm*H1600mm,Φ1200mm*H1500mm，

Φ1800mm*H2000mm, Φ2000mm*H2200mm

真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做

高級裝飾膜層鍍膜，塑膠制品（塑料餐具、高級開關(guān)面板等），五金產(chǎn)品（鏡架、汽車輪轂等），水晶玻璃，手機殼，電子產(chǎn)品等產(chǎn)品鍍膜。